Benesch, N.N.BeneschSchneider, C.C.SchneiderPfitzner, L.L.Pfitzner2022-03-082022-03-082006https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/307180de608670620530Geraet zur schnellen Messung winkelabhaengiger Beugungseffekte an feinstrukturierten Oberflaechenpatent1999-19914696