Hesse, J.J.HesseJuckenack, D.D.Juckenack2022-03-022022-03-021984https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/171121deAnwendungMaschinenbauMikroelektroniksensor621Mikroelektronik-kompatible Sensoren fuer den Maschinenbaujournal article