Schroedter, RichardRichardSchroedterRoth, MatthiasMatthiasRothSandner, ThiloThiloSandnerJanschek, KlausKlausJanschek2022-03-122022-03-122013https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/383002deModellgestützte Bewegungsführung von quasistatischen Mikroscannernconference paper