2022-03-092022-03-091994https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/323376deFertigungFertigungsoptimierungFertigungstechnikFlüssigkeitLuftMessenOberflächePartikelmessungQualitätssicherungRasterelektronenmikroskopReinraumReinraumtechnikTeilchenTreibgas670Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '94conference proceeding