Einschlußtechniken zur Qualitätssicherung in der Reinraumtechnik. Tl.1. Lokale Reinräume, Minienvironments, SMIF, CIP/SIP, Enclosures - Begriffliche Gemeinsamkeiten und Auswirkungen auf die Qualität der Produkte

Weißsieker, H.H.WeißsiekerWarnecke, H.-J.H.-J.WarneckeLudwig, J.J.Ludwig2022-03-032022-03-031993https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/182780Begriffliche Darstellung der Einschlußtechniken. Anhand der Mikroelektronik und am Beispiel der Steriltechniken wird aufgezeigt, daß Einschlußtechniken zur Fehlerfreundlichkeit beitragen können.deKontaminationQualitätssicherungReinraumtechnikSteriltechnik670Einschlußtechniken zur Qualitätssicherung in der Reinraumtechnik. Tl.1. Lokale Reinräume, Minienvironments, SMIF, CIP/SIP, Enclosures - Begriffliche Gemeinsamkeiten und Auswirkungen auf die Qualität der Produktejournal article