Dorner, J.J.DornerMüller, B.B.Müller2022-03-082022-03-081991https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/318947Vorliegender Artikel befaßt sich mit den generellen Partikelmeßmethoden für Reinstgase, wie der Streulichtmethode, Kondensationskernzählung und Auszählungmethode. Es wird auf Methoden der Probenahme bei Druckgasen eingegangen. Verschiedene Anwendungen der Partikelmessung in Gasen, wie die Qualifizierung von Gasen, Qualifizierung von Komponenten und Systemen werden an konkreten Beispielen erläutert. Abgerundet wird der Artikel durch Hinweise auf die Messung in Korrosion und toxischen Gasen sowie Tabellen zu einigen derzeit auf dem Markt befindlichen Partikelzählgeräten.deFertigungHalbleiterhigh-pressure reducerHochdruckdiffusorKontaminationparticle measurementParticle sampling devicesPartikelmessungPartikelmeßtechnikPartikelzählerProbenahmeQualifying of GasesReinstgassemiconductorsemiconductor manufacturingTeilchen670conference paper