Ghazaryan, L.L.Ghazaryan2022-03-072022-03-072017https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/282219en620Nanoporous thin films made by atomic layer deposition and molecular layer depositionNanoporöse dünne Schichten mittels Atomlagenabscheidung und Moleküllagenabscheidungdoctoral thesis