Under CopyrightKutter, C.Zengerle, R.Kibler, SebastianSebastianKibler2022-03-0728.7.20172017https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/28162410.24406/publica-fhg-281624Zur Realisierung einer optimierten Schmierung von Wälzlagern in schnelldrehenden Maschinenspindeln mit Mineralöl bei Förderraten von 2,5 - 50 nl/s plus/minus 10 Prozent wird ein neuartiges, integriertes Mikrodosier- und Sensorprinzip mit zwei piezoelektrischen Silizium-Mikromembranpumpen vorgestellt, das auf der kapazitiven Erfassung der Laufzeit von Phasengrenzen einer Zwei-Phasen-Strömung zwischen Fluid und Luft in einem Mikrokanal basiert.deindustrial applications of scientific research & technological innovationtribology (friction & lubrication)automatic control engineeringelectricity, electromagnetism & magnetismMikrodosiersystemIndustrieapplikationFluidmechanikLagerschmierungTaylor-Blasen-StrömungStrömungssensorMikrosystemtechnikingenieurElektrotechnikingenieurFluidmechanikingenieurMaschinenbauingenieur621doctoral thesis