Ernst, C.C.Ernst2022-03-092022-03-091997https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/328845Zur Partikelmessung in Reinstmedien werden optische Partikelzähler eingesetzt. Die Präzision der Messung ist abhängig von der Probenahmetechnik und der Kalibrierung. Die verfügbaren optischen Partikelzähler unterscheiden sich in ihren technischen Merkmalen Anwendungsmöglichkeiten und Probenahmetechniken.deKalibrierenLatexpartikelOptische Meßtechnikparticle measurementPartikelmessungPartikelzählerProbenahmeRasterelektronenmikroskopieReinstgasReinstmedienStreulichtTeilchenZählwirkungsgrad670conference paper