Klages, C.C.KlagesThyen, R.R.ThyenHoeing, T.T.Hoeing2022-03-082022-03-081999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/304329de608667Verfahren zum Beschichten von Oberflaechen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substratpatent1998-19807086