Törker, EmmyEmmyTörkerSelbmann, FranzFranzSelbmannKeibler-Willner, ClaudiaClaudiaKeibler-WillnerBaum, MarioMarioBaumWiemer, MaikMaikWiemer2022-05-192022-05-192021https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/417730Die Erfindung betrifft ein Schichtsystem mit Barriereeigenschaften gegenüber Sauerstoff und Wasserdampf und ein Verfahren zum Herstellen eines Schichtsystems, welches Barriereeigenschaften gegenüber Sauerstoff und Wasserdampf aufweist, mit den Verfahrensschritten:a) Ausbilden eines Wechselschichtsystems, bestehend aus mindestens zwei Aluminiumoxidschichten (12; 22; 32) und mindestens zwei Titanoxidschichten (13; 23; 33), bei welchem die Aluminiumoxidschichten (12; 22; 32) und die Titanoxidschichten (13; 23; 33) im Wechsel übereinander abgeschieden werden;b) wobei die Aluminiumoxidschichten (12; 22; 32) und die Titanoxidschichten (13; 23; 33) mittels ALD-Schichtabscheidung und jeweils mit einer Schichtdicke von 5 nm bis 20 nm abgeschieden werden;c) Abscheiden einer ersten Paryleneschicht (14; 24; 34a) mit einer Schichtdicke von 0,1 µm bis 50 µm auf einer ersten Seite des Wechselschichtsystems mittels CVD.de620667670patent102020108362