Selbstausbreitende exotherme Reaktionen als interne Wärmequelle für die Aufbau- und Verbindungstechnik von Mikrosystemen

Bräuer, J.J.BräuerBöttge, B.B.BöttgeWiemer, MaikMaikWiemerPetzold, M.M.PetzoldGeßner, ThomasThomasGeßner2022-03-112022-03-112010https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/368436deSelbstausbreitende exotherme Reaktionen als interne Wärmequelle für die Aufbau- und Verbindungstechnik von Mikrosystemenconference paper