Burenkov, A.A.BurenkovBohmayr, W.W.BohmayrLorenz, J.J.LorenzRyssel, H.H.RysselSelberherr, S.S.Selberherr2022-03-092022-03-091995https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/323961en670620530Analytical model for phosphorus large angle tilted implantationconference paper