Sandner, T.T.SandnerSchenk, H.H.SchenkLakner, H.H.LaknerKenda, A.A.KendaScherf, W.W.Scherf2022-03-102022-03-102007https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/355855de621Einsatz translatorischer MOEMS-Aktoren für FTIR-Spektrometerconference paper