2022-03-092022-03-091999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/333258deAutomatisierungFABFertigungFertigungsplanungFlexibel automatisierte MontageFlexibilitätsabstimmungFlexible FabrikFlexible Montagetechnikflexibles Fertigungssystemflexibles MontagesystemGeschäftsprozeßProduktionskonzeptSmart Fabrication CIM Frameworkwafer fabrication670Smart Fabrication Flexible Fab 1999Neue Produktionskonzepte für die Halbleiterfertigung 1999conference proceeding