Barth, StephanStephanBarthHildisch, JanJanHildischBartzsch, HagenHagenBartzsch2022-03-062022-03-062019https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/258958Sehr viele Anwendungen und Produkte basieren heutzutage bereits auf der Dünnschichttechnik. Durch innovative Beschichtungstechnologien, Materialien und Materialkombinationen werden neue Anwendungen und Produkte in den Bereichen Optik, Elektronik, Sensorik, Energie- und Medizintechnik oftmals überhaupt erst möglich. Die Anforderungen an die Schichten und Schichtsysteme sind dabei vielfältig und anspruchsvoll.deSensorikElektronikPiezoelektronikSchichten620616667670journal article