Fahrner, W.2022-03-022022-03-022017978-3-662-48907-9978-3-662-48908-63-662-48907-4https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/162308Nanotechnologie und Nanoprozesse. Einführung und Bewertung. 2., bearbeitete und aktualisierte Auflage