Ernst, C.C.ErnstMatuscheck, P.P.MatuscheckNaffin, F.F.Naffin2022-03-032022-03-031999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/194751Der vorliegende Beitrag behandelt ausgewählte meßtechnische Anwendungen, wie sie zur Darstellung und Sicherung des Reinheitszustandes von Produkten und deren Produktionsumfeld, aber auch zur Qualitäts- und Prozeßoptimierung in Frage kommen. Die zu kontrollierenden Parameter sind produktspezifisch.deFertigungKontaminationskontrolleMessenProzeßoptimierungReinheitszustandReinraumReinstproduktionSauberfertigung670616journal article