2022-03-092022-03-091995https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/325189deFertigungFertigungsoptimierungFertigungstechnikFlüssigkeitLuftMessenOberflächePartikelmessungPartikelmeßtechnikQualitätssicherungReinraumReinraumtechnikTeilchenTreibgas670Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '95conference proceeding