Under CopyrightGommel, UdoUdoGommel2022-03-1126.3.20112011https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/37105810.24406/publica-fhg-371058deReinraumtauglichkeitVDI 2083-17PartikelemissionCleanroom suitable materials (CSM)chemische Beständigkeitchemische ResistenzReinraumTeilchenWerkstoff620Partikelemission, chemische Resistenz und Reinigbarkeit von Werkstoffenpresentation