Molchanov, A.A.Molchanov2022-03-072022-03-072005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/276257de670620530Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die MikrolitographieDevelopment of the crystal growth facility and experimental investigation of CaF2 crystal growth for microlithographydoctoral thesis