Berner, T.T.BernerSchulze, R.R.SchulzeShaporin, AlexeyAlexeyShaporinForke, RomanRomanForkeOtto, ThomasThomasOtto2022-03-132022-03-132017https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/399458deMEMS-basiertes Schallemissionssensorsystem für die Zustandsüberwachungconference paper