Gaudet, MatthieuMatthieuGaudetSchimmanz, KlausKlausSchimmanzStolz, MichaelMichaelStolzLanga, SergiuSergiuLangaKaiser, BertBertKaiser2022-03-082022-03-082016https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/310998Es werden mikromechanische Vorrichtungen beschrieben, die ein aktiv biegbares Element aufweisen. Die Aktivierung wird durch einen Schichtstapel vorgenommen, der die Biegung ansprechend darauf, dass Anziehungskräfte auf die Schichten des Schichtstapels einwirken, bewirkt.de621patent102015206774