Under CopyrightKallinger, BirgitBirgitKallinger2022-03-1222.3.20132013https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/37980210.24406/publica-fhg-379802deEpitaxieFehlpassungHalbleiter mit großer BandlückeWide-Band-Gap semiconductorsSiCnitride670620530Fehlpassung bei der Homo- und Heteroepitaxiepresentation