Daleiden, J.J.Daleiden2022-03-062022-03-061997https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/272962deCAIBEGaAsHalbleiterlaserInPTrockenätzen621667Trockenätzverfahren für die Herstellung von monolithisch integrierten optoelektronischen Schaltkreisendoctoral thesis