Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren

Klotzbücher, T.T.Klotzbücher2022-03-062022-03-061999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/273552deCBNNiederdruckentladungDiamantKohlenstoffnitrid621Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahrendoctoral thesis