Voges, EdgarAbusnina, MohamedMohamedAbusnina2004https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/275934Diplomarbeit an der Universität Dortmund, Fachbereich Elektrotechnik. Angefertigt am Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme Freiburg (ISE), Labor- und Servicecenter Gelsenkirchen.de621697Prozessoptimierung zur Abscheidung von Silizium-Nitrid Schichten auf kristallinen Siliziumwafern mittels Plasmaunterstützten Abscheideverfahren (PECVD)diploma thesis