Stock, A.A.StockDettmann, H.H.DettmannSchäfer, W.W.SchäferRothmaier, U.U.Rothmaier2022-03-092022-03-091997https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/328982Es werden Verfahren zur automatischen Reinigung und Inspektion miniaturisierter optischer Komponenten vorgestellt und die Realisierung eines Inspektionsgerätes eingehend beschrieben. Dabei werden Möglichkeiten aufgezeigt, wie unterschiedliche Defekte auf Oberflächen optischer Komponenten erkannt und klassifiziert werden können.deBeleuchtungstechnikFehlererkennungInspektionKlassifizierenLichtwellenleiterOptisches Gerätoptisches GlasreinigenStreulichttransponder670conference paper