Auswirkung von Herstellparametern auf das Hochtemperatur- und Verschleißverhalten von PVD-Schichten

Bodmann, M.M.BodmannKaiser, E.E.KaiserKleer, G.G.KleerDöll, W.W.Döll2022-03-072022-03-071994https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/287583de531620Auswirkung von Herstellparametern auf das Hochtemperatur- und Verschleißverhalten von PVD-Schichtenbook