2022-03-092022-03-091998https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/331517deElektrostatikFertigungFertigungsoptimierungFertigungsqualitätMessenOberflächenOberflächenmeßtechnikPartikelmessungPartikelmeßtechnikProduktionsanalyseQualitätssicherungReinigungstechnikReinraumReinraumtechnikTeilchen670Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '98conference proceeding