Lenk, A.A.LenkWitke, T.T.WitkeSchultrich, B.B.Schultrich2022-03-092022-03-091996https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/325879dePLDLaser-VerfahrenLaserchemie667621671Abscheidung von Oxidfilmen mit Multi-Kilowatt-CO2-Lasernconference paper