Lerch, W.W.LerchPaul, S.S.PaulNiess, J.J.NiessChan, J.J.ChanMcCoy, S.S.McCoyGelpey, J.J.GelpeyCristiano, F.F.CristianoSeverac, F.F.SeveracFazzini, P.F.P.F.FazziniBolze, D.D.BolzePichler, P.P.PichlerMartinez, A.A.MartinezMineji, A.A.MinejiShishiguchi, S.S.Shishiguchi2022-03-102022-03-102007https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/35522110.1109/IWJT.2007.4279966endopantactivationspike annealingflash annealingsilicon670620530Experimental and theoretical results of dopant activation by a combination of spike and flash annealingExperimentelle und theoretische Ergebnisse zur Aktivierung von Dotieratomen durch eine Kombination von Spike- und Flash-Ausheilungconference paper