Drost, S.S.DrostEndres, H.-E.H.-E.EndresSandmaier, H.H.Sandmaier2022-03-032022-03-031991https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/180577Ein System für chemische Sensoren, das verschiedene physikalische meßbare Größen eines Sensitiven Materials zur Detektion nutzt, wird vorgestellt. Zu den meßbaren physikalischen Porometen zählen Permittivität, Leitfähigkeit, Massenadsorption etc. Durch die gleichzeitige Messung mehrerer Porometer können die Eigenschaften des Sensorsystems verbessert werden. An einem Beispiel wird dieses System demonstriert.dechemischer Sensordielektrischer SensorInterdigitalkompensationmassensensitiver SensorMikrosystemtechnikjournal article