Schiller, S.S.SchillerGoedicke, K.K.GoedickeMilde, F.F.MildeHötzsch, G.G.Hötzsch2022-03-032022-03-031996https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/188350deinterfacial layer processing667670620Großflächen-Vorbehandlung für die physikalische Dampfabscheidung (PVD)book article