Bußmann, AgnesAgnesBußmannGrünerbel, LorenzLorenzGrünerbelWald, ChristianChristianWaldKibler, SebastianSebastianKibler2024-04-242024-04-242021-12-23https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/466823The invention relates to a micro diaphragm pumping device for pumping a fluid. The micro diaphragm pumping device comprises: - a pump chamber, to which an inlet valve for letting the fluid into the pump chamber, an outlet valve for letting the fluid out of the pump chamber, and a diaphragm device for varying the volume of the pump chamber are assigned, the diaphragm device having a planar actuator for deforming the diaphragm device; and - an influencing device for influencing the planar actuator in order to influence the volume of the pump chamber; wherein the diaphragm device has a planar diaphragm body, which delimits the pump chamber; wherein the planar actuator is disposed on a side of the planar diaphragm body facing away from the pump chamber; wherein the planar actuator is fastened to the planar diaphragm body by means of an electrically insulating adhesive layer so that the planar actuator is electrically insulated from the diaphragm body; wherein at least an embedded portion of a support body, on which or in which a deformation sensor for sensing deformation of the diaphragm device is disposed in order to sense the volume of the pump chamber, is disposed within the electrically insulating adhesive layer; wherein the influencing device, the planar actuator, and the deformation sensor form a closed control circuit for controlling the volumetric flow rate of the micro diaphragm pumping device.Vorgeschlagen wird eine Mikromembranpumpeinrichtung zum Pumpen eines Fluids. Die Mikromembranpumpeinrichtung weist auf: eine Pumpkammer, welcher ein Einlassventil zum Einlassen des Fluids in die Pumpkammer, ein Auslassventil zum Auslassen des Fluids aus der Pumpkammer und eine Membraneinrichtung zum Variieren eines Volumens der Pumpkammer zugeordnet ist, wobei die Membraneinrichtung einen plattenförmigen Aktor zum Verformen der Membraneinrichtung aufweist; und eine Beeinflussungseinrichtung zum Beeinflussen des plattenförmigen Aktors, um so das Volumen der Pumpkammer zu beeinflussen; wobei die Membraneinrichtung einen die Pumpkammer begrenzenden platten-förmigen Membrankörper aufweist; wobei der plattenförmige Aktor auf einer der Pumpkammer abgewandten Seite des plattenförmigen Membrankörpers angeordnet ist; wobei der plattenförmige Aktor mittels einer elektrisch isolierenden Kleberschicht an dem plattenförmigen Membrankörper befestigt ist, so dass der plattenförmige Aktor elektrisch isoliert gegenüber dem Membrankörper ist; wobei innerhalb der elektrisch isolierenden Kleberschicht zumindest ein eingebetteter Abschnitt eines Trägerkörpers angeordnet ist, an welchem oder in welchem ein Verformungssensor zur Erfassung einer Verformung der Membraneinrichtung angeordnet ist, um so das Volumen der Pumpkammer zu erfassen; wobei die Beeinflussungseinrichtung, der plattenförmige Aktor und der Verformungssensor einen geschlossenen Regelkreis zur Regelung eines Volumen-stroms der Mikromembranpumpeinrichtung bilden.enpatentWO2021254611 A1WO2020EP66821