Rosenauer, AndreasFlege, Jan IngoVissing, KlausBrenner, ThorbenThorbenBrenner2022-03-072022-03-072017https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/281922de620660671Struktureigenschaftsbeziehung von chemisch gleichartigen plasmapolymeren Trennschichten mit stark variierendem Elastizitätsmodulmaster thesis