Mikrostrukturierter Diamant für optische Systeme - skalierbare Basistechnologie und Einsatz in der ATR-Infrarotspektroskopie (MiDioS). Abschlussbericht

Under CopyrightSulz, GerdGerdSulzLambrecht, ArminArminLambrechtBolwien, CarstenCarstenBolwien2022-03-0816.11.20212020https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/30129010.24406/publica-fhg-301290deAttenuated Total ReflectionATR-InfrarotspektroskopieAbgeschwächte TotalreflexionATR-SpektroskopieProzessanalysedünne SchichtDiamant621Mikrostrukturierter Diamant für optische Systeme - skalierbare Basistechnologie und Einsatz in der ATR-Infrarotspektroskopie (MiDioS). Abschlussberichtreport