Kurz, M.M.KurzEßmann, J.J.EßmannOberschmidt, D.D.Oberschmidt2022-03-042022-03-042008https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/217104Am Produktionstechnischen Zentrum Berlin (PTZ) wurde jetzt untersucht, ob ein neues TAKTILES SENSORKONZEPT mit hoher Messgenauigkeit und geringen Antastkräften - integriert in ein modernes KMG - optische Funktionsflächen aus der Ultrapräzisionsbearbeitung zerstörungsfrei messen kann.deOptikMesstechnik658620journal article