Michel, B.B.MichelSchubert, A.A.SchubertWinkler, T.T.WinklerReichl, H.H.Reichl2022-03-092022-03-091997https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/327982de621Charakterisierung von Werkstoffverbunden für neue Einsatzmöglichkeiten im Bereich der Mikrosystemtechnikconference paper