Mory, DavidDavidMoryLaure, StefanStefanLaureBasler, CarlCarlBaslerMichalik, KatarzynaKatarzynaMichalik2022-03-082022-03-082019https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/30062810.2314/KXP:1678917605de621Produktionsintegrierte Qualifizierung dünner Beschichtungen (DSALIPS)report