Lorenz, J.J.LorenzBär, E.E.BärBurenkov, A.A.BurenkovTietzel, K.K.Tietzel2022-03-032022-03-031996https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/188647de670620530Mehrdimensionale Simulation halbleitertechnologischer Fertigungsschrittebook article