Schulz, U.U.SchulzKaless, A.A.KalessLeitel, R.R.LeitelKaiser, N.N.Kaiser2022-03-102022-03-102005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/348401deEntspiegelungPlasma-ÄtzverfahrenSubwelllenlängen-OberflächenstrukturenSubwellenlängestochastische Oberflächenstruktur620conference paper