Niekiel, Malte FlorianMalte FlorianNiekielStoppel, FabianFabianStoppelWagner, BernhardBernhardWagnerLofink, FabianFabianLofink2024-09-052024-09-052022-10-06https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/474521MEMS-Schallwandler (10, 10', 10", 10"') mit folgenden Merkmalen: mindestens einem Aktor (16, 16a-16d, 16a"-16d", 16a"'-16d"'); einer Abstrahlstruktur (14, 14', 14a-14d, 14", 14"), die als separates Element mit dem Aktor (16, 16a-16d, 16a"-16d", 16a'"-16d'") gekoppelt ist und ausgebildet ist; eine die Abstrahlstruktur (14, 14', 14a-14d, 14", 14") umgebende Struktur (12), wobei die Abstrahlstruktur (14, 14', 14a-14d, 14", 14") durch einen oder mehrere Spalte (14s, 14s", 14s"') von der umgebenden Struktur (12) getrennt ist; und zumindest eine Blende (18, 18s", 18a", 18a, 18b, 18s'"), die entlang zumindest eines der einen oder mehreren Spalte (14s, 14s", 14s''') angeordnet ist.depatentDE102021203360 A1DE202110203360