Hellwig, G.G.HellwigOehr, C.C.OehrSchindler, B.B.SchindlerBauser, H.H.Bauser2022-03-082022-03-081990https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/317806Im FHIGB werden verschiedene Beschichtungs- und Oberflächenmodifizierungsverfahren zur gezielten Beeinflußung von Grenzflächeneigenschaften wie z.B. Adhäsion, Benetzbarkeit, Korrosion, Biokompatibilität oder zur Herstellung von Gaspermeationsmembranen angewandt. Neben konventionellen naßchemischen Verfahren gehören dazu Abscheidungstechniken aus der Gasphase wie die Kathodenzerstäubung und die plasmagestützte Abscheidung.deOberflächenanalytikOberflächenmodifizierungPlasmadiagnostikplasmapolymerisation610620660conference paper