Eberhard, D.Beyer, H.Feißt, A.Künzel, C.Plescher, G.2022-03-072022-03-072002https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/291232de621Entwicklung von PbTe-Sputterschichten und Si1-XGeX-PECVD-Schichten für thermoelektrische Generatoren und IR-Detektoren für mittlere Temperaturenreport