Dörner, DirkDirkDörnerSchneefuß, KarstenKarstenSchneefuß2022-03-032022-03-032003https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/204139Die prozessnahe Anwendung der optischen Messtechnik stellt einen aktuellen Entwicklungstrend dar. Damit wird die schnelle Rückkopplung von Prozessdaten ermöglicht und das Erarbeiten eines tiefgreifenden Prozessverständnisses unterstützt. Künftig wird daher die Fertigungsmesstechnik nicht mehr nachträglich in schon bestehende Anlage eingebunden, sondern bereits beim Entwickeln der Produktionsmittel in das Gesamtkonzept implementiert.deoptische MeßtechnikIn-prozess-MesstechnikInterferometrie670658journal article