Piezoelektrische AlN- und AlScN-Schichten für die energieautarke Sensorik

Bartzsch, HagenHagenBartzschBarth, StephanStephanBarthGlöß, DanielDanielGlößFrach, PeterPeterFrachSuchaneck, GunnarGunnarSuchaneckGerlach, GeraldGeraldGerlach2022-03-132022-03-132018https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/400175deSensorikSchichtabscheidung620667670Piezoelektrische AlN- und AlScN-Schichten für die energieautarke Sensorikconference paper