Gaebler, D.D.GaeblerKaiser, N.N.Kaiser2022-03-082022-03-082003https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/305949Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf spannungskompensierte, klimastabile oxidische Beschichtungen fuer ultrapraezise Oberflaechen von insbesondere optischen Bauelementen sowie auf Verfahren zur Herstellung derartiger Beschichtungen auf Bauelementen. Mit den erfindungsgemaessen Beschichtungen fuer Bauelemente ist es zum einen moeglich, oxidische Schichten mit stabilen und vor allem auch reproduzierbaren Druckspannungen zu erzeugen, die auch den optischen Anforderungen fuer Interferenzschichtsysteme entsprechen. Weiterhin ist unter den erfindungsgemaessen Bedingungen die Erzeugung klassischer, d. h. ohne Ionenstuetzung aufgetragener Al2O3-Schichten moeglich, die stabile, reproduzierbare und sehr grosse Zugspannungen aufweisen.DE 10134157 A UPAB: 20030505 NOVELTY - Process for coating substrate having an ultra-precise surface comprises applying an optical layer system and voltage compensation layer made from aluminum oxide without ion support DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a component having an ultra-precise surface coated with an optical layer system and a voltage compensation layer made from aluminum oxide without ion support. Preferred Features: The optical layer system is made from SiO2 and/or TiO2 layers applied by PVD. USE - Used for coating a substrate having an ultra-precise surface. ADVANTAGE - The layers have high stability.de608620patent2001-10134157