Sandner, ThiloJanschek, KlausVolkmann, StefanStefanVolkmann2022-03-072022-03-072015https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/280615de621Entwurf einer Mehrgrößenregelung zur hochdynamischen und präzisen zweidimensionalen Positionierung eines mikromechanischen Vektorscannersdiploma thesis