Mart, ClemensClemensMartPolakowski, PatrickPatrickPolakowskiKämpfe, ThomasThomasKämpfeWeinreich, WenkeWenkeWeinreich2022-03-082022-03-082019https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/311763Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sensoranordnung und ein Verfahren zum Herstellen der Sensoranordnung. Die Sensoranordnung weist ein Substrat (5), das mindestens eine gegenüber einer Oberfläche des Substrats (5) vertieft ausgebildeten Struktur (6) aufweist, eine auf der Oberfläche des Substrats (5) und auf der Struktur (6) ausgebildeten ersten Elektrodenschicht (4), eine auf der ersten Elektrodenschicht (4) ausgebildeten pyroelektrischen Schicht (3) und eine auf der pyroelektrischen Schicht (3) ausgebildeten zweiten Elektrodenschicht (2) auf.de621patent102018201383